伴隨近年來中國大陸晶圓廠的擴建，半導體裝置行業經歷快速發展，至今仍然保持增長活力及潛力。多家廠商的新產品獲得客戶認可，訂單取得顯著增長，開啟市場空間的同時形成良性迴圈。
吳新竹/文
晶圓廠的新一輪擴產計劃為半導體裝置行業帶來增長空間，多家公司在新客戶拓展和新市場開發方面取得了顯著成效，提升了整體營收水平。據統計，2024年三季度末，半導體裝置板塊的合同負債達201.82億元，同比增長13.99%，部分訂單已轉化為收入，第三季度單季相關公司的收入或利潤創新高。部分公司的毛利率略有下降，單一季度產品結構和客戶結構的差異均會造成毛利率波動，裝置廠商需透過加大研發投入，推出新功能、新模組和新產品來提高議價能力，並透過規模化生產攤薄折舊帶來的成本、費用壓力，保持利潤率的穩定。
資本市場近年來為半導體裝置類公司提供了大規模的資金支援，股權再融資規模在200億元以上，截至目前相關公司的淨資產收益率顯著增長。目前汽車、工業和消費電子的終端市場需求持續復甦，器件的複雜性不斷增加，將支撐上游裝置細分領域的訂單加速落袋。
晶圓廠投資高峰期來臨
上一輪半導體週期在2023年第四季度到達谷底，晶圓廠產能利用率跌至70%以下。受全球晶片法案與AI浪潮的影響，晶圓廠再度開啟擴產週期，國際半導體協會預計2025-2027年晶圓廠裝置開支連續3年增長，同比增長率分別為21%、12%和4%，其中2027年裝置支出預計會達到創紀錄的1450億美元。2024年全球預計新增晶圓廠60座，其中，中國大陸開工建設的晶圓廠有6座，投入運營的晶圓廠有19座，預計2027年全球共有239座300mm晶圓廠，中國大陸佔比為29.71%。晶圓廠的擴產計劃為半導體裝置行業帶來增長空間，據統計，2024年三季度末，該板塊合同負債達201.82億元，同比增長13.99%，存貨餘額達576.12億元，同比增長42.81%。
前三季度，中微公司新增訂單76.4億元，同比增長約52.0%，其中刻蝕裝置新增訂單62.5億元，同比增長約54.7%，LPCVD新增訂單3.0億元，新產品開始啟動放量；2024年預計新增訂單在110億-130億元。前三季度該公司共生產專用裝置同比增長約310%，對應產值約94.19億元，同比增長約287%，為後續出貨及確認收入打下基礎。9月末發出商品餘額約35.07億元，較年初8.68億元餘額增長26.40億元；合同負債達29.88億元，環比上季度餘額增長17.86%，較年初7.72億元餘額增長約22.16億元；存貨餘額為78.2億元，環比增長15.40%，為在手訂單備貨。
部分公司的訂單向業績轉化已經開始兌現，前三季度華海清科實現營業收入24.52億元，較上年同期增長33.22%，實現扣非歸母淨利潤6.15億元，同比增長33.85%；其中三季度單季的營業收入為9.55億元，同比增長57.63%，扣非歸母淨利潤為2.46億元，同比增長62.36%，創歷史新高。該公司預計，隨著滿足更多材質工藝和更先進製程要求的CMP裝備推出，以及未來國內新技術的應用，客戶對CMP裝備的採購和升級需求將快速增長。單季業績創歷史新高的還有正帆科技，該公司三季度實現營業收入16.49億元，同比增長54.63%，扣非歸母淨利潤為1.95億元，同比增長55.63%。
盛美上海和北方華創的三季度收入創歷史新高，營業收入分別為15.73億元和80.18億元，同比增長37.96%和30.12%，環比增長6.09%和23.81%。盛美裝置研發與製造中心落成並正式投產，包含兩座廠房和一座輔助廠房，據媒體報道，首臺量測裝置已入駐研發潔淨室，可將公司量測能力提升至1xnm。北方華創近年來新開發的CCP刻蝕機、高階單片清洗、PECVD、立式多片ALD等多款產品實現生產線驗證並獲得多家客戶的重複訂單，支撐公司未來營收的持續增長。
毛利率基本穩定
2024年前三季度，北方華創的研發費用為21.92億元，與兩年前相比近乎翻倍，該公司開發支出和無形資產佔總資產的比例分別為8.23%和7.39%，上年同期上述比例分別為10.48%和4.98%，收入規模的擴張一定程度上抵消了無形資產攤銷帶來的成本費用影響。北方華創前三季度扣非攤薄淨資產收益率達14.69%，創歷史新高，銷售毛利率為44.22%，資產週轉率為0.35次，均處於歷史高位。電子工藝裝備中材料費佔總成本的94%，材料費主要為外購零部件費用。該公司認為，未來隨著本地化比例的提高，零部件價格將保持降低趨勢。
前三季度中微公司營業收入為55.07億元，同比增長36.27%。該公司的等離子體刻蝕裝置在國內外獲得更多客戶的認可，2024年前三季度刻蝕裝置收入為44.13億元，較上年同期增長約53.77%；新產品LPCVD裝置實現首臺銷售，收入0.28億元；EPI裝置已順利進入客戶端量產驗證階段，已完成多家先進邏輯器件與MTM器件客戶的工藝驗證。公司2024年1-9月份的毛利率為42.22%，較上年同期減少1.23個百分點。
正帆科技前三季度毛利率27.47%，同比下降0.78個百分點，毛利率略有下降，中信建投判斷主要系工藝介質系統業務價格端有所承壓、以及新建氣體產能落地後的折舊費用相對較高所致。
2022-2024年前三季度，華海清科的毛利率分別為47.42%、46.46%和45.82%，前三季度同比下降0.64個百分點，該公司擬透過持續加大研發投入，保持毛利率和淨利率處於相對穩定的水平。
品類擴張 開拓市場
國際半導體協會預計2025年半導體裝置的銷售額將創下1280億美元的新高，後端細分市場將在2025年加速增長，測試裝置銷售額將同比增長30.3%，封裝裝置銷售額將同比增長34.9%。
正帆科技2024年前三季度業績大幅改善，該公司在手訂單充足，IC行業佔比約50%，晶片日益成為該公司第一大下游行業，光伏佔比持續下降；非系統類業務新籤合同佔比超過38%，同比增長83%，成為該公司訂單及後續收入增長的驅動力。
北方華創主營半導體裝備、真空及鋰電裝備和精密電子元器件三大業務，在半導體裝置方面實現了平臺化佈局，具體產品包括刻蝕機、PVD、CVD、ALD、清洗機等多款高階半導體工藝裝備。截至2024年上半年末，北方華創半導體裝備產業化基地擴產專案四期、高階半導體裝備研發專案和高精密電子元器件產業化基地擴產專案三期的投資進度分別為59.65%、86.63%和72.7%。國記憶體儲產線擴產會帶動公司訂單較快增長，新建的半導體裝備臺馬基地已建成投入使用，可以匹配產能增長的需要。
華海清科公司CMP產品作為積體電路前道製造的關鍵工藝裝備之一，獲得了更多客戶，市場佔有率不斷提高。新的拋光系統架構CMP機臺已實現小批量出貨，並獲得多家頭部客戶的批次銷售訂單；12英寸超精密晶圓減薄機已實現首臺驗證，其效能獲得客戶認可，滿足客戶批次化生產的需求；應用於4/6/8英寸化合物半導體的刷片清洗裝和12英寸單片終端清洗機已實現首臺驗收。隨著公司CMP產品的市場保有量不斷擴大，關鍵耗材與維保服務等業務規模逐步放量，同時晶圓再生及溼法裝備收入逐步增加，該公司預期營業收入將同比增長。
以刻蝕等前道裝置起家的中微公司把目光投向了先進封裝的市場機遇。該公司的TSV裝置可以使用在先進封裝領域，同時公司也已佈局其他應用於先進封裝的裝置產品，將根據客戶需求情況逐步匯入市場。
近年來資本市場為半導體裝置類公司提供了大規模的資金支援，北方華創曾在2019年和2021年透過定增累計募集105億元，2021年中微公司定增募集82億元，近期，盛美上海擬透過定增募集45億元，加快研發進度，加深產品佈局，該公司將2024年全年的營業收入預測區間調整為56億-58.8億元，較此前53億元的最低預測值有所上調。
盛美上海的清洗裝置能夠覆蓋的清洗步驟已達90%-95%左右，半導體清洗裝置和電鍍裝置可以與全球第一梯隊半導體裝置供應商競爭，立式爐管系列裝置已經批次進入多家客戶生產線，塗膠顯影Track裝置也已經進入客戶端正在驗證中，等離子體增強化學氣相沉積PECVD裝置正在研發中，預計2024年該裝置的工藝覆蓋率大概達到50%左右，2025年及以後，盛美上海的立式爐管、PECVD、Track等裝置有望貢獻營收。
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